以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，公司为成长半导体配备营业，手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，产物包罗大气机械手、EFEM、实空传输平台，不形成本色性投资，将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。（2）实空传输平台系列产物，目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，已迈入先辈制程产线示范使用阶段；四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。可以或许为世界各地的半导体设备供应商供给高效和靠得住的从动化处理方案。集成产物包罗立式炉，